鋼板切割加工未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載摘編或利

　　】近日，中國(guó)電子旗下中國(guó)長(zhǎng)城鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院和河南通用智能裝有限歷時(shí)1年，聯(lián)合攻關(guān)，研制成功我國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)，。該設(shè)在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國(guó)際水平，標(biāo)志著我國(guó)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實(shí)質(zhì)性重大突破，對(duì)進(jìn)一步提高我國(guó)智能裝制造能力具有里程碑式的意義。

　　高端智能裝是國(guó)之重器，是制造業(yè)的基石，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中具有舉足輕重的作用。晶圓切割是半導(dǎo)體封測(cè)工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序。據(jù)悉，與傳統(tǒng)的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點(diǎn)，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。

　　半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)通過(guò)采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)加工平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持高穩(wěn)定性、高精度，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá) 500mm/s，效率遠(yuǎn)高于國(guó)外設(shè)。

　　在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，鋼板切割加工結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平，采用了合適的波長(zhǎng)、總功率、脈寬和重頻的激光器，終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。

　　在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī)，配以不同功效的鏡頭，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整；同時(shí)還搭載了同軸影像系統(tǒng)，可以確保切割中效果的實(shí)時(shí)確認(rèn)和優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)切割效果。

　　中國(guó)長(zhǎng)城在科研創(chuàng)新中始終聚焦自主安全和核心技術(shù)。該裝的成功研制是科研人員義無(wú)反顧扛起央企主責(zé)，加速解決“卡脖子”難題，爭(zhēng)做新時(shí)代圓夢(mèng)人的有力體現(xiàn)，也是央企與民企共扛使命、資源互補(bǔ)、集智創(chuàng)新，共同解決國(guó)家重大智能裝制造瓶頸問(wèn)題的成功典范。

　　據(jù)悉，鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院成立于2017年，近些年來(lái)，圍繞自主安全工業(yè)控制器、高端裝制造和新一代信息技術(shù)突破開(kāi)展科研創(chuàng)新、技術(shù)攻關(guān)，被中國(guó)長(zhǎng)城旗下收購(gòu)后，科研創(chuàng)新、事業(yè)發(fā)展進(jìn)入新一輪加速發(fā)展期。

　　(原標(biāo)題：中國(guó)電子研制出我國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī))（來(lái)源：中國(guó)電子）

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　　2020第二屆青島國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)（同期：第23屆丞華濟(jì)南國(guó)際數(shù)控機(jī)床展覽會(huì)）
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